抗磁悬浮的原理、特点和应用

抗磁物质处在磁场中时,在重力和抗磁力的作用下,会稳定悬浮,利用这个原理可以实现抗磁物质的捕获、移动等微操纵.本文详细介绍了抗磁悬浮的两个分类:传统的抗磁悬浮和磁阿基米德抗磁悬浮,并对二者的特点、应用等作了介绍,然后详细分析了抗磁悬浮有关的关键因素,例如磁化率的计算、磁场分布的产生等,最后结合永磁体的小尺寸效应和MEMS...     

PCR温度控制技术的研究进展

首先简述了PCR的基本原理,接着综述了几种常用的用于PCR的温度控制器,包括常规PID控制器、改进的PID控制器和模糊逻辑控制器,最后,将模糊逻辑应用于PID控制,提出了简练的模糊逻辑规则,设计了一套用于PCR的参数自整定模糊逻辑PID温控系统,得到了令人满意的温度控制效果.     

旋转轴的磁流体密封技术

一、常规的旋转轴密封为了保持机器或器械的正常工作条件,有时也为了保证机器外部的环境条件不被破坏,就需要在机器或器械的内外交界面上设置一障碍,以便内外隔绝,互不受影响。例如一台电机,既要保证轴承处有充分的润滑油并不致流失和沾污外界环境,而且要保证外界的灰尘、污物不致进入内部而加速机器、轴承的损坏。对于磁盘存贮器而言,其密封要求更为突出。主轴轴承处润滑油的逸出会破坏机腔内的100级净化条件。这种逸出也会过早地导致主轴轴承处润滑油的枯褐。绝对的密封是没有的。根据要求的不同就     

微机电安全密码锁的设计技术

微机电安全密码锁是一类用于确保“要害系统”安全性的装置 ,也可称为微锁、微型组合锁、微型密码鉴别器或微型使用控制开关。本文重点介绍了微机电安全密码锁的基本功能单元 :即鉴别器机构、驱动器与能量耦合器 ,结合工作原理的分析 ,探讨了装置总体设计中应考虑的关键问题     

一种高分子聚合物PCR芯片的设计及有限元分析

设计了一种以PDMS为基底的微型PCR芯片，并用有限元软件对芯片做了详细的温度场分析，主要分析了微型PCR芯片温度场的均匀性和分布以及芯片升、降温的效率。分析结果表明设计的聚合物芯片温度分布均匀，有较高的升、降温速率，可以满足PCR反应的要求。通过一维热传导理论分析，得到的结论与有限元分析的结果是一致的。     

静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩

针对工作于高真空密封腔中的静电悬浮MEMS陀螺微转子,为建立其旋转动力学模型,实现高精度恒速旋转控制,需要得到高努森数条件下的空气阻尼力矩特性。结合复杂结构的轮状扁平微转子,根据分子动理论和Christian模型,推导出压膜阻尼力矩特性;根据稀薄气体动力学,在考虑腔室内壁和转子表面具有不同切向动量适应系数的条件下,推导出滑膜阻尼力矩解析公式。以根据腔内空气流动特征进行的分区直接蒙特卡罗模拟(DSMC)结果为参考,总阻尼力矩系数的解析误差约为16%,表明解析模型具有较好的精度,对于高努森数条件下类似微器件的建模和系统设计具有较高的实用价值。     

电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析

电磁悬浮转子微陀螺(MGELR)是一种新型的角速率传感器,它和传统机械陀螺具有相同的工作机理.MGELR有望成为具有高精度的微陀螺.对于MGELR来说,转子的稳定悬浮是极为重要的.文中对微转子的稳定悬浮进行了全面的研究.详细分析并给出线圈、转子直径、电流幅值、悬浮高度等因素对微转子悬浮稳定性的影响.文中提出边界效应理论来解释微转子偏心所带来的侧向力.试验结果进一步论证了分析的正确性.文章最后得出稳定悬浮所应满足的条件.文章的研究内容为MGELR的结构设计提供理论基础.     

基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单，由Parylene振动膜和硅基片两层组成，将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变，对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列，并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。     

微机械密码锁鉴码机构的UQS机理研究及其工艺实现

微机械密码锁是一种用于重要场合的安全保险装置，其鉴码机构的设计基于UQS技术。从UQS的概念出发，研究了UQS的特性，得到了一个可行的编码算法。根据生成的编码，使用MEMS加工技术，“一体化”加工完成了基于UQS技术的齿轮鉴码机构。此齿轮鉴码机构对微机械密码锁的推广应用具有重要的意义。     

微小机电强链中的驱动器

本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点,并对其优缺点进行了分析,同时提出一些改进方案和设计,可作为设计微小机电强链驱动器的参考.