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1.
衍射法细丝直径的精密测量 总被引:4,自引:2,他引:2
分析了激光衍射法测量细丝直径技术中影响精度的几个主要因素,研究了一种微弱衍射条纹的精密处理及识别技术,有效地提高了测量精度,实测结果表明,文中讨论的技术能在10 ̄50μm的范围内实现正负0.1μm的重复精度,分辨力优于0.01μm。 相似文献
2.
小型微/纳米级三坐标测量机的研制 总被引:11,自引:1,他引:10
介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25mm范围及5nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5nm,该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等。 相似文献
3.
4.
5.
宫铁波 《海军工程大学电子工程学院学报》2002,(4):41-42
介绍利用迈克尔逊干涉仪精密的蜗轮蜗杆传动系统,融合光电技术,将迈克尔逊干涉仪的应用领域拓展到需要精密测量微小位移量的相关实验系统中去,以提高测量精度。 相似文献
6.
本文介绍了新研制一种S波段引导信标机,它采用了抗振高稳定度泛音晶体振荡器,场效应放大模块。通过整机周密的热平衡设计,结构强度和应力设计,使该机性能稳定,体积小,重量轻,耐冲击振动,实现了“硬装”。 相似文献
7.
介绍了钢管圆度精密测量使用的仪器和通过四种测量方法测量的准确数据,提出测量棱圆横截面的方法。 相似文献
8.
给出了针有表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜,扫描范围为40×40×10μm^3,配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场,可测量较大尺寸试件,实验表明,该STM所测图像清晰,使用方便,结构简单,适于产品化。 相似文献
9.
接地电阻对地电场观测的影响及克服方法 总被引:1,自引:0,他引:1
论述了测量电极的接地电阻对振幅和相位测量精度的影响规律,提出了克服接地电阻影响,提高野外观测精度的切实可行的方法和技术。 相似文献
10.
陆培祥 《哈尔滨工业大学学报》2010,42(3):372-372
<正>随着科学技术的发展,激光得到了越来越广泛的应用,并推动了诸如科学研究、工业加工、精密测量、医学等众多领域的发展.寻找新的激光介质以实现新波长的激光输出和如何提高现有激光器的性能,是激光发展一直面临 相似文献