110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制

设计制作了用于1 ~110 GHz On-wafer 散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1 GHz~110 GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性。     

基于Multi-TRL算法的传输线特征阻抗定标

在片散射参数的精确测量离不开传输线特征阻抗的精确定义。介绍了基于Multi-TRL算法的共面波导型传输线特征阻抗的定标方法,具体包括对Multi-TRL校准算法进行推导和优化得到传播常数,再利用传播常数计算得到传输线特征阻抗。在此基础上,开发了传输线特征阻抗提取软件wyb,并对特征阻抗测试结果进行了验证。测量片上参考标准RM8130上的校准标准,分别作为wyb软件和Wincal软件的输入量来提取特征阻抗。数据表明:在5～10 GHz频段内,特征阻抗幅值相差小于±0.6％,相位相差小于±0.55°;在10～40 GHz频段内,特征阻抗幅值相差小于±0.2％,相位相差小于±0.40°。