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2.
本文通过对高炉鼓风机AV63-14BPRT机组的安装过程介绍,阐述了BPRT型高炉鼓风机组的安装技术要点及在目前高炉鼓风系统的应用情况。 相似文献
3.
以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 相似文献
4.
5.
文昌油田深水导管架安装技术 总被引:2,自引:0,他引:2
通过介绍文昌油田13-1/13-2导管架海上安装的关键过程,总结了导管架海上安装成功的经验和失败的教训,并借鉴SAIPEM公司先进的施工方案,提出深水导管架安装的施工技术,为今后类似工程提供借鉴. 相似文献
6.
通过对锦州20-2MUQN导管架安装工程中调平作业的叙述,介绍了导管架就位中调平技术的要点。 相似文献
7.
以无人机发射平台为研究对象,通过对系统原理的详细分析,采用改进的PID增量控制闭环方式实现系统功能,来对无人机发射平台实现多状况下的快速、高精度调平.在建立好合理的平台液压调平模型后,利用AMEsim系统建模软件进行仿真分析,取得了很好的效果,并对比例换向阀与液压缸进行了详细的动态特性分析和研究工作.仿真结果表明,在前后支腿间距4340mm的条件下,达到调平精度±0.2°,所建立的系统仿真模型可适应发射平台的快速、高精度调平要求,实现了系统的跟随功能,满足系统的动态响应要求. 相似文献
8.
调焦调平测量系统是光刻机对焦控制的核心部件,调焦调平测量系统的数据处理精度影响光刻机的对焦控制性能,计算速度影响光刻机产能。论文通过仿真与实验对比分析了多项式拟合算法(polynomial fitting)、RF(random forest)算法和XGBoost(extreme gradient boosting)算法在调焦调平测量系统中的测量精度与计算耗时。仿真与实验结果表明,多项式拟合算法精度随时间变化不敏感,RF算法和XGBoost算法精度随计算时间的增加而迅速提升。对于不存在噪声的仿真数据,7阶多项式拟合的3σ值为0.001nm;RF算法在2ms时可对仿真数据完全拟合;XFBoost算法在5ms时,拟合精度基本趋于稳定,为0.6nm。对于存在噪声的实验数据,RF算法与XGBoost算法对噪声有较好的鲁棒性,随计算时间的增加,RF算法与XGBoost算法拟合精度不断提升并分别于3ms和5ms超越多项式拟合算法,但精度提升有限。在光刻机中,为了兼顾对焦精度和产能,必须兼顾算法的拟合精度与拟合时间,因此调焦调平测量系统选用多项式拟合算法较为合适。 相似文献
9.
分析了冰箱调平螺钉带金属嵌件的工艺特点,设计了进料浇口、顶出复位机构、冷却系统和动、定模镶拼式注射模结构。制造的冰箱调平螺钉注射模一次试模成功。此模具工艺性好,塑件质量较高。 相似文献
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