不同冷屏黑化工艺BRDF指标对比分析

冷屏作为红外探测器的重要部件,其内壁消光质量的优劣,直接关系到探测器背景噪声、动态范围和响应均匀性。针对当前正在应用的几种冷屏黑化工艺,通过制备平面样品,测试其在红外谱段2~14 μm的平均BRDF数据,结合分析几种工艺方法的特点及实际应用效果,为后续不同类型、不同谱段红外探测器冷屏内壁设计选用何种黑化工艺提供建设性建议。