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无线电
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1.
梯度多层BST薄膜介电性能研究
总被引:1,自引:1,他引:0
张慧
廖家轩
田忠
许江
《电子元件与材料》
2006,25(10):10-12
成分梯度多层钛酸锶钡薄膜具有较好的综合介电性能,包括适中的介电常数、高的介电调谐率、低的介质损耗及低的介电温度系数等,日益成为微波调制器件如移相器、滤波器、谐振器等的重要候选薄膜材料。就国内外近年来取得的重要成果进行了综述,对今后成分梯度多层BST薄膜的研究前景及方向进行了展望。
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