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  2002年   1篇
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用软光刻技术实现微细结构   总被引：2，自引：0，他引：2  
本文介绍了一种新的微结构制造技术———软光刻技术 ,它提供了一种方便、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法 .本文着重涉及了软光刻的几项关键技术 :弹性印模、再铸模等 ,阐述了模板的制备方法和原理 ,并应用这种模板实现微阀和微毛细管  相似文献   
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