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| 用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪 | |
| 引用本文： | 李庆祥,薛实福,徐毓娴,邹莉.用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪[J].仪器仪表学报,1994,15(2):113-118. |
| 作者姓名： | 李庆祥 薛实福 徐毓娴 邹莉 |
| 作者单位： | 清华大学 (李庆祥，薛实福，徐毓娴)，清华大学(邹莉) |
| 摘 要： | 采用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪,具有结构简单工作稳定可靠的特点。本文介绍了它的原理与特点,并对该仪器进行了实验。该仪器的测量精度对于较薄膜层为±2nm,一般膜层为被测膜层厚度的±2％～±5％。 |
| 关 键 词： | 全息凹面光栅 分光元件 膜厚测量仪 |
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