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集成电路光刻镜扫描控制系统
引用本文:
郭从良,王荣生.集成电路光刻镜扫描控制系统[J].光电子技术与信息,1999,12(6):8-10.
作者姓名:
郭从良
王荣生
作者单位:
中国科学技术大学电子科学与技术系,合肥
摘 要:
用同步辐射光源进行大规模集成电路和微器件光刻是现阶段的一项高新技术,本文介绍同步辐射光刻的镜扫描控制系统,它的设计思想,所采用的方法以及最优控制等都具有科技应用和经济价值。
关 键 词:
光刻
镜扫描
控制系统
集成电路
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