| LCoS平板微显示驱动技术研究 |
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| 引用本文： | 王文博,王晓慧,黄苒,欧毅,杜寰,夏洋,韩郑生,冯亚云,凌志华.LCoS平板微显示驱动技术研究[J].半导体光电,2009,30(1):38-42. |
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| 作者姓名： | 王文博 王晓慧 黄苒 欧毅 杜寰 夏洋 韩郑生 冯亚云 凌志华 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划) |
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| 摘 要： | 研究了硅基液晶(LCoS)微显示驱动电路的制备工艺、电路设计、版图绘制以及显示功能测试.采用化学机械抛光(CMP)工艺实现硅片表面平坦化方案,满足了LCoS微显示对表面平整度的要求;合理布设两层金属布线,巧妙实现遮光作用;利用剥离的方法制备Ag反射电极,解决了Ag工艺与标准CMOS集成电路工艺的兼容问题;在硅基片上制作出U形PAD,通过导电胶与公共电极ITO相接.电路设计中采用了对台阶电平计数的办法实现DA转换的功能,既降低了电路设计难度,又方便测试过程中对灰度电平的调整.制备出LCoS微显示驱动面板,实现了QVGA分辨率、16级灰度LCoS、帧频50 HZ的视频显示.
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| 关 键 词： | 硅基液晶 平板微显示 镜面电极 遮光层 |
Study on Micro Display Technology of LCoS |
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| WANG Wen-bo,WANG Xiao-hui,HUANG Ran,OU Yi,DU Huan,XIA Yang,HAN Zheng-sheng,FENG Ya-yun,LING Zhi-hua.Study on Micro Display Technology of LCoS[J].Semiconductor Optoelectronics,2009,30(1):38-42. |
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| Authors: | WANG Wen-bo WANG Xiao-hui HUANG Ran OU Yi DU Huan XIA Yang HAN Zheng-sheng FENG Ya-yun LING Zhi-hua |
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