等厚等倾复合型干涉仪

干涉仪是可以快速高效,非接触地获取被测元件信息的光学测量仪器。为拓展单个干涉仪应用范围,设计出一种利用切换式系统,能根据测量需求实现等厚干涉和等倾干涉之间转换的复合型干涉仪。在介绍复合型干涉仪基本结构的基础上,分析了干涉仪设计中需要注意的问题和事项,着重讨论了光源的选择,准直物镜像差要求,聚光镜设计参数。利用ZEMAX软件完成了干涉仪光学系统的设计。最后,用FRED软件对干涉仪建模,进行仿真分析,得到了等厚干涉和等倾干涉干涉图,干涉条纹均清晰可见。表明此干涉仪可应用于实际光学测量之中。