一种利用变通的离子散射谱测量进行浓度定标的二次离子质谱深度剖析… |
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引用本文: | 宋玲根,张永夏.一种利用变通的离子散射谱测量进行浓度定标的二次离子质谱深度剖析…[J].质谱学报,1996,17(3):68-77. |
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作者姓名: | 宋玲根 张永夏 |
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摘 要: | 本工作利用一台不作任何较大改动的CAMECA-IMS-3f扇形磁铁型二次离子质谱仪对传统的离子散射谱(ISS)分析技术进行了适当的变通,并对二次离子质谱分析(SIMS)的深度剖析谱进行了浓度定标。在保留SIMS分析高灵敏度、高深度分辨率的前提下,实现了对块体样品中的掺杂元素的SIMS定量深度剖析。通过与离子注入机标称的注入剂量及卢瑟福背散射的定量分析结果相比较,本方法的定量准确度一般好于10%。而
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关 键 词: | 离子散射谱 二次离子质谱 定量分析 浓度标定 |
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