| 飞秒激光加工光波导的工艺与传输特性研究 |
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| 引用本文： | 王少清,孙小燕,夏国才,罗志.飞秒激光加工光波导的工艺与传输特性研究[J].激光与红外,2014,44(11):1207-1212. |
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| 作者姓名： | 王少清 孙小燕 夏国才 罗志 |
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| 作者单位： | 中南大学机电工程学院，湖南 长沙410083; 中南大学高性能复杂制造国家重点实验室，湖南 长沙410083 |
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| 基金项目： | 国家973项目，国家自然科学基金项目(No.91123035，No.90923030，No.51005250)资助。 |
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| 摘 要： | 利用飞秒激光横向直写方式加工光波导,采用散射光测量法分析了光波导的传输损耗。为了提高光波导的传输性能,分析了不同数值孔径的聚焦物镜、加工速度和加工能量对光波导传输损耗的影响。实验结果表明,聚焦物镜数值孔径为0.25,激光功率为6 m W,加工速度在45~60μm/s时,飞秒激光加工的光波导具有较好的传输性能,其传输损耗低于-0.2 d B/cm。
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| 关 键 词： | 飞秒激光 光波导 传输损耗 数值孔径 |
Research on process parameters and transmission properties of optical waveguide fabricated by femtosecond laser |
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| WANG Shao-qing,SUN Xiao-yan,XIA Guo-cai,LUO Zhi.Research on process parameters and transmission properties of optical waveguide fabricated by femtosecond laser[J].Laser & Infrared,2014,44(11):1207-1212. |
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| Authors: | WANG Shao-qing SUN Xiao-yan XIA Guo-cai LUO Zhi |
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| Affiliation: | College of Mechanical and Electrical Engineering,Central South University,Changsha 410083,China;State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing,Changsha 410083,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | femtosecond laser optical waveguide transmission loss numerical aperture |
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