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High Temperature Thermal Conductivity of Amorphous Al2O3 Thin Films Grown by Low Temperature ALD |
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| Authors: | Andrea Cappella Jean‐Luc Battaglia Vincent Schick Andrzej Kusiak Alessio Lamperti Claudia Wiemer Bruno Hay |
| Affiliation: | 1. Université de Bordeaux, Institut de Mécanique et d'Ingénierie de Bordeaux I, , 33405 Talence, France;2. Laboratoire National de Métrologie et d'Essais, LNE, , 78197 Trappes, France;3. Laboratorio MDM, IMM‐CNR, , 20864 Agrate Brianza (MB), Italy |
| Abstract: | |
| Keywords: | ALD amorphous alumina modulated photothermal radiometry thermal conductivity |