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| 世界CMP设备市场 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 近年来 ,由于半导体制造技术不断向微细化、高速、高密度方向发展 ,适用于平坦化工艺的ＣＭＰ技术得以飞速发展 ,ＣＭＰ设备市场从 1 994年初具规模到目前迅速地增大。其推进情况如下 :1 994年 6 0 0 0亿日元 ;1 995年 1 5 0 0 0亿日元 ;1 996年 40 0 0 0亿日元 ;1 997年 6 5 0 0 0亿日元 ;1 998年 6 2 0 0 0亿日元 ;1 999年 96 0 0 0亿日元。从 1 998年世界ＣＭＰ设备市场的分布情况看 ,美国为 39% ,日本为 30 % ,台湾地区为1 6 % ,欧洲为 8% ,韩国为 4% ,其它亚太地区占 3%。从 1 998年ＣＭＰ设备生产商所占世界市场份额来看 ,日本的荏原… |
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