|
|||||
|
|
| 真空漏率校准装置与检漏 | |
| 作者姓名： | 吴根发 宋红 |
| 作者单位： | [1]国防科工委真空计量二级站 [2]国投南光有限公司 |
| 摘 要： | 本文叙述国内外真空检漏技术动态,着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置,结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。 |
| 关 键 词： | 真空漏率 校准装置 流量计法 质谱检漏仪 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |