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透明薄膜光学常数的椭圆偏振测量
引用本文:
吴启宏,唐晋发.透明薄膜光学常数的椭圆偏振测量[J].浙江大学学报(自然科学版 ),1980(4).
作者姓名:
吴启宏
唐晋发
摘 要:
本文叙述了用椭园偏振法测定透明薄膜厚度和折射率的原理,提供了一个计算程序。实验结果表明:折射率和厚度的测量误差分别小于0.5%和10A。
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