| 一种具有亚波长光栅结构的光探测器的设计 |
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| 引用本文： | 杨一粟,黄永清,黄辉,王琦,任晓敏. 一种具有亚波长光栅结构的光探测器的设计[J]. 中国激光, 2009, 36(9). DOI: 10.3788/CJL20093609.2352 |
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| 作者姓名： | 杨一粟 黄永清 黄辉 王琦 任晓敏 |
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| 作者单位： | 信息光子学与光通信教育部重点实验室(北京邮电大学),北京邮电大学信息光子学与光通信研究院,北京,100876 |
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| 基金项目： | 国家973计划，国家863计划，国家自然科学基金，国际科技合作重点项目计划，教育部"新世纪人才支持计划"，北京市教育委员会共建项目，高等学校创新引智计划(111计划)资助课题 |
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| 摘 要： | 高速智能光纤通信系统和网络的飞速发展对光电探测器提出了更高要求.利用严格耦合波(RCWA)理论,给出了在亚波长光栅(SWG)下方具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的理论分析模型,将这种结构作为反射镜应用于谐振腔增强型光探测器(RCE PD)的设计中.仿真表明由于SWG的引入,只需要4对λ/4厚度的InGaAsP/InP系DBR,可使整体膜系结构实现在中心波长1.55 μm处反射率达到99.7%,在1.40 μm至1.62/μm范围内反射率高于99%.引入SWG后的RCE PD在1.55 μm附近的量子效率接近90%,串扰衰减系数与量子效率的乘积超过15 dB.有效地解决了InGaAsP/InP介质膜系DBR作为谐振腔反射镜反射率低、反射带宽窄的问题.
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| 关 键 词： | 光电子学 亚波长光栅 严格耦合波方法 光探测器 |
Design of Photodetector with Subwavelength Grating Structure |
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| Yang Yisu,Huang Yongqing,Huang Hui,Wang Qi,Ren Xiaomin. Design of Photodetector with Subwavelength Grating Structure[J]. Chinese Journal of Lasers, 2009, 36(9). DOI: 10.3788/CJL20093609.2352 |
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| Authors: | Yang Yisu Huang Yongqing Huang Hui Wang Qi Ren Xiaomin |
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