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| （Ba0.6Sr0．4）Ti1-xZnxO3薄膜的介电调谐性能 | |
| 引用本文： | 孙小华,邹隽,胡宗智,吴敏,赵兴中.（Ba0.6Sr0．4）Ti1-xZnxO3薄膜的介电调谐性能[J].纳米科技,2009,6(4):46-50. |
| 作者姓名： | 孙小华 邹隽 胡宗智 吴敏 赵兴中 |
| 作者单位： | [1]三峡大学机械与材料工程学院,湖北宜昌443002 [2]武汉大学物理科学与技术学院,湖北武汉430072 |
| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶法在Pt／TiO2/SiO2/Si衬底上制备了（Ba0．6Sr0．4）Ti1-xZnxO3（BSTZ）薄膜，用X射线衍射和扫描电镜分析测定了BSTZ的微结构和薄膜的表面形貌，研究Zn掺杂量对其介电调谐性能的影响，结果表明，随Zn含量的增加BSTZ物相无明显变化，其介电常数、调谐量先增加后降低，但介电损耗却先降低后增加。在室温1MHz下，1．5m01％Zn掺杂BSTZ薄膜有最大的调谐量54．26％；2．5mol％Zn掺杂BSTZ薄膜有最低的介电损耗0．0148和最大的优值因子30．3。 |
| 关 键 词： | BST薄膜 掺杂 溶胶-凝胶 介电调谐性能 |
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