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用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统

引用本文：	Nijmu.,Y 梁贵华.用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统[J].四川真空,1991(2):46-47.

作者姓名：	Nijmu. Y 梁贵华

摘要：
关键词：	Co－Cr 薄膜载声体沉积溅射系统
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