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| 数显卡尺容栅定栅母板的研制 | |
| 作者姓名： | 宋健 刘文红 |
| 作者单位： | 哈尔滨量仪研究所, |
| 摘 要： | 一、前言容栅作为测量基准 ,已在生产中运用并充分显示其优越性。容栅式测量系统具有重复性好 ,精度高 ,抗干扰能力强 ,对环境要求不苛刻 ,实现数字化等优点 ;而且相对光栅测量系统而言 ,具有体积小 ,安装调试方便的优越性 ,因此广泛应用于国内外相关领域。为满足研制开发容栅式数显卡尺的需要 ,我们采用接近式光刻原理 ,以激光干涉仪分度修正的方法 ,研制了高精度玻璃体铬层容栅母板 ,并已取得非常可观的经济效益。二、容栅定栅母板的研制1.容栅定栅母板的技术指标 (见图 1)技术要求 :(1)总长Ｌ =4 6× 5 .0 8=2 33.6 8(2 )任意栅距间误差 … |
| 关 键 词： | 数显卡尺 容栅定栅母板 制作 光刻原理 分度修正 激光干涉仪 |
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