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| （Ba，Sr）TiO3铁电薄膜制备技术及其研究进展 | |
| 引用本文： | 单连伟,丁碧妍,付兴华,侯文萍,单志强.（Ba，Sr）TiO3铁电薄膜制备技术及其研究进展[J].桂林电子工业学院学报,2003,23(6):36-39. |
| 作者姓名： | 单连伟 丁碧妍 付兴华 侯文萍 单志强 |
| 作者单位： | [1]济南大学材料科学与工程学院，山东济南250022 [2]广西大学资源与环境学院，广西南宁530004 |
| 摘 要： | (Ba，Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜较传统的铁电材料有高介电常数、高击穿场强、快响应速度、居里温度可调等优点，在DRAM、微波调节器等领域具有广阔的发展前景，是目前国际上新型功能材料研究的热点之一。通过对铁电薄膜及其制备技术研究新进展的综合评述，就BST的微观结构、性能及应用，深入分析BST铁电薄膜主要制备技术的优缺点，指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题。 |
| 关 键 词： | （Ba Sr）TiO3 铁电薄膜 制备方法 DRAM 微波调节器 钙钛矿型铁电固溶体 BST |
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