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| 超声波微加工间隙在线测控技术研究 | |
| 引用本文： | 仲进安,郭隐彪,张翊. 超声波微加工间隙在线测控技术研究[J]. 仪器仪表学报, 2002, 23(Z1): 367-368 |
| 作者姓名： | 仲进安 郭隐彪 张翊 |
| 作者单位： | 厦门大学机电系,厦门,361005 |
| 基金项目： | 厦门大学校自选课题Y07007资助项目. |
| 摘 要： | 硬脆材料和电难以加工材料如玻璃、陶瓷、人造宝石、半导体基板的微型孔、槽及微结构,通常采用超声波通过工具振动和工作液中磨粒的作用达到微加工的目的.为了保证加工精度和提高加工效率,工具和工件之间应保持一定的间隙.控制间隙的大小和精度直接影响加工质量.本文提出超声波谐振来测量工具与工件之间的间隙,实现加工过程的在线控制技术. |
| 关 键 词： | 超声波 微加工 谐振 在线测量与控制 |
On-line Measurement and Control of Clearance in Supersonic Micromachining |
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