|
|||||
|
|
| 新型传感器讲座 第二讲 新颖半导体力敏传感器 | |
| 引用本文： | 陈庆贵,邬华.新型传感器讲座 第二讲 新颖半导体力敏传感器[J].电子技术,1987(9). |
| 作者姓名： | 陈庆贵 邬华 |
| 作者单位： | 上海冶金研究所，上海冶金研究所 |
| 摘 要： | 力敏器件,主要是指用来测量力、压力、速度、加速度、位移、振动等物理量的敏感器件.因这些测量都与机械应力相关,所以通称为力敏器件,并把封装成为一个整体的称为力敏传感器. 人们对力敏器件的研究已有悠久的历史,经过几十年的发展,已奠定了雄厚的技术和工业基础.但随着近几年现代信息科学的迅猛发展,特别是大规模和超大规模集成电路的发展以及微处理机的问世,原有 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |