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| 高真空电离真空计的改进 | |
| 作者单位： | 杭州电子管厂技术情报室 |
| 摘 要： | 在电真空器件及半导体器件的生产过程中,需要对真空系统进行真空度的测量。特别是在1×10～-3乇到1×10～-8乇这个范围内。普遍使用高真空电离真空计。目前使用的电离真空计都采用图1这样的基本电路。它存在着下列几个问题。 一、在仪器的调整和测量过程中。需要交替的扳动各有关开关。在操作上感到不够方便。 二、当开关S使用日久后,簧片的接触电阻增大,在调整真空规的发射电流时,使仪表的指示与实际值存在误差,同时影响直流放大器的满度校准引起真空度测量误差。 三、图1中V6V7,屏极电压是随机变化的。当T1的次级电压UW2升高时,如欲保… |
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