| 纳米多孔氧化硅薄膜的制备和表征 |
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| 引用本文： | 杨大祥,冯坚,周新贵,张长瑞,王娟.纳米多孔氧化硅薄膜的制备和表征[J].功能材料,2004,35(Z1):979-982. |
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| 作者姓名： | 杨大祥 冯坚 周新贵 张长瑞 王娟 |
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| 作者单位： | 杨大祥（国防科技大学,航天与材料学院,湖南,长沙,410073）;冯坚（国防科技大学,航天与材料学院,湖南,长沙,410073）;周新贵（国防科技大学,航天与材料学院,湖南,长沙,410073）;张长瑞（国防科技大学,航天与材料学院,湖南,长沙,410073）;王娟（国防科技大学,航天与材料学院,湖南,长沙,410073） |
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| 基金项目： | 武器装备"十五"预研资助项目(41312040305) |
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| 摘 要： | 以正硅酸乙酯、异丙醇、去离子水为原料,盐酸、氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶、旋转涂胶、老化及超临界流体干燥工艺制备纳米多孔氧化硅薄膜.研究了溶胶-凝胶工艺的影响因素,考察了溶胶粘度和匀胶转速对成膜性能的影响,采用扫描电镜表征了薄膜的表面形貌和截面结构,用椭偏仪表征了薄膜的孔隙率、介电常数以及厚度等性能参数,分析了薄膜的结构和红外特性.
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| 关 键 词： | 纳米多孔薄膜 溶胶-凝胶 旋转涂胶 超临界流体干燥 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-0979-04 |
| 修稿时间： | 2004年2月25日 |
The synthesis and characterization of nanoporous silica films |
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