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| 激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术 | |
| 引用本文： | 王晓辉 曹根瑞. 激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术[J]. 光电工程, 1997, 24(4): 52-55 |
| 作者姓名： | 王晓辉 曹根瑞 |
| 作者单位： | 北京理工大学光电工程系光电技术基础教研室 |
| 摘 要： | 讨论了一种新的干涉图处理方法，能实时快速准确地提取干涉图信息，直接测量波面的位相分布，获得较高的位相分辨率和空间分辨率，使光学波面的检测精度达到λ／１００以上，并且实现了波面的的实时显示。 |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 数字干涉仪 波面干涉仪 |
Fourier Transform Phase Shift Interferometry in Laser Digital Wavefront Interferometer |
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| Wang Xiaohui,Cao Genrui,Mei Wenhui. Fourier Transform Phase Shift Interferometry in Laser Digital Wavefront Interferometer[J]. Opto-Electronic Engineering, 1997, 24(4): 52-55 | |
| Authors: | Wang Xiaohui Cao Genrui Mei Wenhui |
| Abstract: | |
| Keywords: | Laser interferometers Digital interferometers Wave front interferometers Fast Fourier transforms CCD cameras Computerised image processing. |
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