| 谐振式微加速度计差频检测电路研究 |
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| 引用本文： | 石云波,王玲,刘俊.谐振式微加速度计差频检测电路研究[J].压电与声光,2009,31(2). |
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| 作者姓名： | 石云波 王玲 刘俊 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051
2. 河南农业大学,机电工程学院,河南,郑州,450002 |
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| 摘 要： | 微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰,在传输和处理过程中也不易出现误差.针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器,采用静电激励和电容拾振的检测方式,设计了电容拾振检测电路和差频输出电路,实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测.利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试,实验室测试灵敏度为25.7 Hz/g,达到了设计要求.
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| 关 键 词： | 谐振式加速度计 差频 微弱信号检测 |
Study on the Difference Frequency Circuit of MEMS Resonant Accelerometer |
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| SHI Yun-bo,WANG Ling,LIU Jun.Study on the Difference Frequency Circuit of MEMS Resonant Accelerometer[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(2). |
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| Authors: | SHI Yun-bo WANG Ling LIU Jun |
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