| 离子注入法（IBS）合成新FeSi2相的显微结构研究 |
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| 引用本文： | 金星,李晓娜.离子注入法（IBS）合成新FeSi2相的显微结构研究[J].电子显微学报,1997,16(2):136-140. |
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| 作者姓名： | 金星 李晓娜 |
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| 作者单位： | 中国科学院北京电镜实验室，三束材料改性国家重点联合实验室，大连理工大学分部 |
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| 摘 要： | 本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的ＦｅＳｉ２薄膜的微观结构，发现一种新的ＦｅＳｉ２相，这种相的晶格参数与已知的β－ＦｅＳｉ２相相似，但是它的点群和空间群分别为ｍｍｍ和Ｐｂｃａ。
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| 关 键 词： | 离子注入 金属硅化物 电子显微学 |
Ion Beam Syntheses (IBS) and Microstructure Studies of A New FeSi 2 Phase |
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| Jin Sing.Ion Beam Syntheses (IBS) and Microstructure Studies of A New FeSi 2 Phase[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,1997,16(2):136-140. |
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| Authors: | Jin Sing |
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| Keywords: | ion implantation\ metal silicide\ electron microscopy |
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