| 基于介质嵌层的热电式微波功率传感器特性研究 |
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| 作者姓名： | 胡加杨 李龙飞 谷新丰 吉新村 王德波 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学 电子与光学工程学院, 南京 210046 |
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| 基金项目： | 国家青年自然科学基金资助项目(61704086,61704088);江苏省青年自然科学基金资助项目(BK20140890);南京邮电大学国自基金孵化项目(NY215139,NY217039);江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJKY19_0816) |
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| 摘 要： | 为改善热电式MEMS微波功率传感器的电-热-电转换效率,提出了一种新型介质嵌层结构。选用Si3N4、新型材料石墨烯分别作为介质嵌层。建立介质嵌层结构的热学模型,采用Ansys软件对热学特性进行了仿真。结果表明,当石墨烯作为介质嵌层时,热电偶热端的温度提高了12 K,有效改善了传热效率,提高了热电堆温差。建立介质嵌层结构的电磁模型,采用Hfss软件对微波性能进行了仿真。结果表明,在8~12 GHz范围内,S参数约为-18 dB,传感器仍具有良好的匹配特性。该介质嵌层结构对热电式MEMS微波功率传感器研究有参考价值。
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| 关 键 词： | 热电式 微波功率传感器 介质嵌层 MEMS 石墨烯 |
| 收稿时间： | 2019-04-10 |
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