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| 新型MEMS流量传感器的设计与制作 | |
| 引用本文： | 许奎伟,李经民,李名扬,丁来钱,郭利华.新型MEMS流量传感器的设计与制作[J].机电技术,2020(5):18-21. |
| 作者姓名： | 许奎伟 李经民 李名扬 丁来钱 郭利华 |
| 作者单位： | 大连理工大学,辽宁 大连 116024 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 人工侧线 流体感知 压电效应 MEMS传感器 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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