| 用莫尔测偏法在线快速检测非球表面形貌 |
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| 引用本文： | 施宇清.用莫尔测偏法在线快速检测非球表面形貌[J].振动．测试与诊断,2002,22(1):15-19. |
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| 作者姓名： | 施宇清 |
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| 作者单位： | 烟台大学机电工程学院,烟台,264005 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (编号 :5 94 75 0 82 ) |
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| 摘 要： | 介绍了非球表面三维形貌检测技术的新方法－－相移莫尔测偏法的测量原理，图像评价方法和测量装置，详细说明了测量装置的光路和相移器的设计原理及方法，对测量误差的来源进行了分析，为了检验该技术测量非线表面的精度，速度和稳定性，干涉法对同一非线表面进行了光测量比较，结果表明，该技术是一种测量精度，抗干扰能力强，稳定性高且速度快的在线检测方法。
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| 关 键 词： | 非球面 莫尔测偏法 相移技术 抗干扰性 在线检测 三维检测 非接触式光学检测 |
| 修稿时间： | 2001年11月20 |
On-line Quick Measurement of Aspheric Surfaces Using Moire Deflectometry |
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| Shi Yuqing.On-line Quick Measurement of Aspheric Surfaces Using Moire Deflectometry[J].Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis,2002,22(1):15-19. |
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| Authors: | Shi Yuqing |
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