| 同步跟随式电磁悬浮驱动器的力学分析与测试 |
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| 引用本文： | 陈本永,陈军,杨涛,姜伟光,郭亮. 同步跟随式电磁悬浮驱动器的力学分析与测试[J]. 测试技术学报, 2009, 23(2) |
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| 作者姓名： | 陈本永 陈军 杨涛 姜伟光 郭亮 |
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| 作者单位： | 浙江理工大学,纳米测量技术实验室,浙江,杭州,310018;浙江理工大学,纳米测量技术实验室,浙江,杭州,310018;浙江理工大学,纳米测量技术实验室,浙江,杭州,310018;浙江理工大学,纳米测量技术实验室,浙江,杭州,310018;浙江理工大学,纳米测量技术实验室,浙江,杭州,310018 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，浙江省教育厅科研项目 |
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| 摘 要： | 设计了一种基于磁场同步跟随的多自由度电磁悬浮式微驱动器,该驱动器悬浮单元和驱动单元相互独立,在一个机构中构建了集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动新方法.通过对该驱动器的受力分析,得到了驱动器多自由度运动状态的数学方程.采用电涡流传感器和DSP控制器,建立了该微驱动器的测控系统,实验结果表明,该驱动器具有较强的稳定性与驱动能力,验证了力学分析的正确性.
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| 关 键 词： | 电磁悬浮 微驱动器 多自由度 稳定性 驱动能力 |
Measurement and Mechanics Analysis of an Electromagnetic Levitation Micro-Actuator |
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| CHEN Benyong,CHEN Jun,YANG Tao,JIANG Weiguang,GUO Liang. Measurement and Mechanics Analysis of an Electromagnetic Levitation Micro-Actuator[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2009, 23(2) |
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| Authors: | CHEN Benyong CHEN Jun YANG Tao JIANG Weiguang GUO Liang |
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