| 微细图形几何尺寸测量的实验研究 |
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| 引用本文： | 李庆祥 王伯雄. 微细图形几何尺寸测量的实验研究[J]. 计量学报, 1993, 14(4): 241-246 |
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| 作者姓名： | 李庆祥 王伯雄 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系，清华大学精密仪器与机械学系，清华大学精密仪器与机械学系，清华大学精密仪器与机械学系 北京 100084，北京 100084，北京 100084，北京 100084 |
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| 摘 要： | 微细图形的几何尺寸测量是影响大规模集成电路生产效率和质量的重要问题。作者等在DXY-1型线宽轮廓测量仪上对与微细图形几何尺寸测量精度有关的因素进行了实验研究。实验结果表明,该仪器的重复测量精度优于±0.005μm,对比测量偏差△≤0.02μm。
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| 关 键 词： | 图形 线宽 测量 集成电路 |
Experimental Study on the Measurement of Micro-dimensional Structure |
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| Li Qingxiang,Wang Boxiong,Xue Shifu,Xu Yuxian. Experimental Study on the Measurement of Micro-dimensional Structure[J]. Acta Metrologica Sinica, 1993, 14(4): 241-246 |
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| Authors: | Li Qingxiang Wang Boxiong Xue Shifu Xu Yuxian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-dimensional structure Linewidth measurement Large scale integrated circuit |
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