| PZT铁电薄膜的制备和应用 |
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| 引用本文： | 戴宁,胡淑红,胡古今,洪学.PZT铁电薄膜的制备和应用[J].红外与激光工程,2006,35(Z5). |
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| 作者姓名： | 戴宁 胡淑红 胡古今 洪学 |
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| 摘 要： | 介绍了一种制备膜厚为数微米的均匀相和非均匀相(准周期性多层膜)铁电薄膜的有效方法,研究了PZT平面波导结构的光波导特性及准周期性多层铁电薄膜的布拉格反射特性.研究表明厚度在数微米的均匀相铁电薄膜膜层致密,棱镜耦合实验表明该铁电薄膜波导层对光波的传播有良好的限定性能.准周期铁电多层薄膜具有良好的布拉格反射特性,周期数为10以上的铁电多层膜样品在室温下具有90%以上的反射率和约40 nm的反射带宽.
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| 关 键 词： | PZT薄膜 准周期铁电多层膜 光波导特性 布拉格反射器 |
The preparation the application of ferroelectric PZT thin films |
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| DAI Ning,HU Shu-hong,HU Gu-jin,HONG Xue-kun.The preparation the application of ferroelectric PZT thin films[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(Z5). |
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| Authors: | DAI Ning HU Shu-hong HU Gu-jin HONG Xue-kun |
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