| 掺Er Al2O3光波导薄膜材料的制备及光学特性 |
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| 引用本文： | 李淑凤,宋昌烈,李成仁,饶文雄,雷明凯.掺Er Al2O3光波导薄膜材料的制备及光学特性[J].半导体光电,2003,24(5):344-349. |
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| 作者姓名： | 李淑凤 宋昌烈 李成仁 饶文雄 雷明凯 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024
2. 大连理工大学,材料系,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;69889701; |
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| 摘 要： | 介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3 的发光特性均有影响。退火对发光特性及材料具有改善作用。
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| 关 键 词： | 光波导 Er∶Al2O3薄膜 PL特性 |
| 文章编号： | 1001-5868(2003)05-0344-06 |
| 修稿时间： | 2003年4月17日 |
Preparation and Characteristics of Er-doped Al2O3 Waveguide Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical waveguide Er-doped Al_2O_3 film PL characteristics |
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