面向复杂多陷阱的随机电报噪声提取技术

随着集成电路的发展，器件尺寸不断减小，导致MOSFET栅氧化层中的陷阱增多。低频噪声随之产生，尤其是随机电报噪声RTN变得愈发明显，对器件的可靠性提出了挑战。当器件中的陷阱个数多于1个时，陷阱间的耦合效应也对RTN信号的分析产生了重要影响。因此，开展针对复杂多陷阱情况下的RTN信号的提取技术的研究变得尤为迫切。目前现存的RTN提取技术在处理大数据量时迭代所耗费的时间成本大，且自动化程度不高，这些问题亟需解决。基于RTN信号非高斯性质，提出了自动化检测RTN信号的方法和自动化判定陷阱数方法，使得RTN信号的提取更加准确和高效。另外，还针对迭代过程中重要参数提出了自适应模型的方法，实现了大部分RTN信号提取的迭代加速。最后，对实测RTN信号应用上述方法进行参数提取，并分析了耦合效应对参数产生的影响。