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β-C_3N_4的研究进展
引用本文:赵敏学,顾有松,常香荣,田中卓,袁磊,张云汉,潘念东.β-C_3N_4的研究进展[J].真空科学与技术学报,1997(2).
作者姓名:赵敏学  顾有松  常香荣  田中卓  袁磊  张云汉  潘念东
摘    要:自从1989年Liu等人预言β-C3N4可能具有超高硬度等特殊性能以来,这种材料得到了科技界和工业界的广泛重视,然而至今尚未获得与理论预测完全相符的实验结果。鉴于这种情况,一方面采用更新的材料制备与检测手段进行合成以获得真正的β-C3N4晶体;另一方面对碳、氮反应所形成的固体材料进行性能研究以寻找可供使用的特殊性能。为此对近年来β-C3N4的研究进行了综合评述。

关 键 词:β态氮化碳  物理气相沉积  等离子增强化学气相沉积  离子注入
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