| 16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块 |
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| 引用本文： | 陈弘达,申荣铉,毛陆虹,唐君,梁琨,杜云,黄永箴,吴荣汉,冯军,柯锡明,刘欢艳,王志功.16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块[J].半导体学报,2003,24(3):245-249. |
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| 作者姓名： | 陈弘达 申荣铉 毛陆虹 唐君 梁琨 杜云 黄永箴 吴荣汉 冯军 柯锡明 刘欢艳 王志功 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室 北京100083
(陈弘达，申荣铉，毛陆虹，唐君，梁琨，杜云，黄永箴，吴荣汉)，东南大学射频与光电集成电路研究所 南京210096
(冯军，柯锡明，刘欢艳)，东南大学射频与光电集成电路研究所 南京210096(王志功) |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划 (编号 :2 0 0 1AA12 2 0 32 ,2 0 0 1AA312 0 80 ,2 0 0 2AA312 2 40 )，国家自然科学基金 (批准号 :6 9896 2 6 0 )资助项目~~ |
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| 摘 要： | 研究了垂直腔面发射激光器 (VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性 ,将 1× 16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装 (MCM ) ,混合集成为 16信道VCSEL光发射功能模块 .测试过程中 ,功能模块的光电特性及其均匀性良好 ,测量的 - 3dB频带宽度大于 2GHz.
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器 CMOS 光电子混合集成 光互连 |
16-Channel 0.35μm CMOS/VCSEL Transmission Modules |
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| Chen Hongda,Shen Rongxuan,Mao Luhong,Tang Jun,Liang Kun,Du Yun,HUANG Yongzhen,Wu Ronghan,Feng Jun,Ke Ximing,Liu Huanyan,Wang Zhigong.16-Channel 0.35μm CMOS/VCSEL Transmission Modules[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(3):245-249. |
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| Authors: | Chen Hongda Shen Rongxuan Mao Luhong Tang Jun Liang Kun Du Yun HUANG Yongzhen Wu Ronghan Feng Jun Ke Ximing Liu Huanyan Wang Zhigong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | VCSEL CMOS optoelectronic integration optical interconnects |
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