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模板法制备半导体纳米阵列及其形态调控
引用本文:郦宇琦,刘彦平,钟文武. 模板法制备半导体纳米阵列及其形态调控[J]. 合成材料老化与应用, 2015, 0(1)
作者姓名:郦宇琦  刘彦平  钟文武
作者单位:台州学院物理与电子工程学院,浙江台州,318000
基金项目:浙江省自然科学基金,浙江省台州市科技计划项目,国家自然科学基金
摘    要:以聚苯乙烯单层胶体晶体为模板,分别采用溶液浸渍法和磁控溅射法制备Ti O2和Zn O二维纳米阵列。研究了前驱体浓度、溅射时间和溅射功率对纳米阵列形态的影响,研究发现随着前驱体浓度的降低,Ti O2纳米阵列的形貌由孔状变为环状。对于特定的Zn O孔状阵列,随着溅射功率的增大和溅射时间的延长,阵列的表面形貌也出现了明显的变化。结果表明,利用模板法制备的纳米阵列的形态可通过实验参数来进行调控。

关 键 词:胶体晶体模板  纳米阵列  氧化锌  二氧化钛

Fabrication and Control of Semiconductor Nanoarray via Colloidal Monolayer Template
LI Yu-qi,LIU Yan-ping,ZHONG Wen-wu. Fabrication and Control of Semiconductor Nanoarray via Colloidal Monolayer Template[J]. Synthetic Materials Aging and Application, 2015, 0(1)
Authors:LI Yu-qi  LIU Yan-ping  ZHONG Wen-wu
Abstract:
Keywords:colloidal crystal template  nanoarray  zinc oxide  titanium dioxide
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