应用于反射式编码器的光电集成芯片设计 |
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引用本文: | 杨雪,梁煜,张为,王熙,郝东宁.应用于反射式编码器的光电集成芯片设计[J].光学精密工程,2023(8):1136-1149. |
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作者姓名: | 杨雪 梁煜 张为 王熙 郝东宁 |
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作者单位: | 天津大学微电子学院 |
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摘 要: | 为满足反射式光电编码器的应用需求,设计一款集成光电二极管阵列、跨阻放大器、全差分放大器以及偏置电路的光电芯片。首先,根据反射式编码器的成像原理设计光电二极管阵列。然后,设计可调增益跨阻放大器、全差分驱动放大器级联作为增量信号处理链路,降低读出信号的噪声同时提高带负载能力。接着,集成具有宽电源电压输入范围以及较好的电源纹波抑制能力的偏置电路。基于0.35μm光电CMOS工艺进行流片,通过搭建测试环境,光电集成芯片可以在3.5~6 V宽电源电压范围内正常工作,且在电机转速6 000 r/min内输出的增量信号正交性良好。角度测量结果表明,正反转情况下角度测量误差最大值分别为4.752″和5.04″。在5 V供电电压下电路的直流功耗为66.5 mW,整体芯片面积为5.91 mm×2.81 mm。能够满足光电芯片高度集成化、较好的信号正交性、宽电源电压输入范围、高电源纹波抑制能力等要求,适用于反射式光电编码器。
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关 键 词: | 光电芯片 反射式编码器 增量信号 偏置电路 可调增益放大器 |
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