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| SR-XRD和EXAFS研究Mn掺杂ZnO薄膜的微观结构 | |
| 作者姓名： | 张斌 李敏 王建中 施立群 承焕生 杨铁莹 文闻 胡凤春 |
| 作者单位： | 1.复旦大学现代物理研究所;2.中国科学院上海应用物理研究所;3.中国科学技术大学国家同步辐射实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(10775033、11075038);上海市重点学科建设项目资助(B107) |
| 摘 要： | 用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了一组不同衬底温度的Mn掺杂ZnO薄膜。质子激发X射线荧光（PIXE）测量表明,薄膜中仅有含量为5 at.%的Mn,未见其它磁性杂质元素（如Fe、Co、Ni等）。同步辐射X射线衍射（SR-XRD）表明,这些Mn掺杂ZnO薄膜具有纤锌矿ZnO结构。SR-XRD和扩展X射线吸收精细结构谱（EXAFS）分析显示,薄膜中未发现Mn团簇或MnO、MnO2、Mn2O3、Mn3O4等二次相,Mn原子是通过替代Zn原子而进入了ZnO晶格。 |
| 关 键 词： | 同步辐射X射线衍射 扩展X射线吸收精细结构谱 Mn掺杂ZnO薄膜 微观结构 |
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