| 微尺度下新型MEMS滤波器的研究 |
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| 引用本文： | 赵继德,李应良,马传龙.微尺度下新型MEMS滤波器的研究[J].激光技术,2005,29(6):632-635. |
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| 作者姓名： | 赵继德 李应良 马传龙 |
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| 作者单位： | 烟台师范学院,烟台,264025;华信邮电咨询设计研究院有限公司,杭州,310014;重庆通信学院,重庆,400039 |
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| 摘 要： | 分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.
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| 关 键 词： | 微尺度 微机械技术 滤波器 共面波导 |
| 文章编号： | 1001-3806(2005)06-0632-04 |
| 收稿时间： | 2004-08-03 |
| 修稿时间： | 2004-10-11 |
Design of MEMS coplanar waveguide cavity bandstop filter |
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| ZHAO Ji-de,LI Ying-liang,MA Chuan-long.Design of MEMS coplanar waveguide cavity bandstop filter[J].Laser Technology,2005,29(6):632-635. |
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| Authors: | ZHAO Ji-de LI Ying-liang MA Chuan-long |
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| Abstract: | The MEMS CPW is analyzed,and a novel MEMS designed based on the CPW.The electromagnetism and thermal stress are studied.The parameters of the microscale filter are analyzed,and significant data is obtained for actual MEMS filter.If the design parameters are changed,the different performance of MEMS resonators and filters are obtained.The partial theory and practicality experience of material choice and components design study of wireless communications MEMS devices are provided. |
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| Keywords: | microscale micro-electro-mechanical systems(MEMS) filter coplanar waveguide(CPW) |
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