球形硅微粉制备方法与应用研究 |
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引用本文: | 李勇,王新宇.球形硅微粉制备方法与应用研究[J].中国金属通报,2019(2):205-206. |
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作者姓名: | 李勇 王新宇 |
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作者单位: | 河南省有色金属地质矿产局第五地质大队 |
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摘 要: | 在微电子工业快速发展过程中,球形硅微粉的研究也逐步备受关注,是大规模集成电路封装领域中的一种关键材料。本文首先对球形硅微粉进行概述,然后分析了其市场现状,最后介绍球形硅微粉常用制备方法,并得出以SiCl4为原料的气相法、以水玻璃为原料的沉淀法应用价值最高,能够实现工业化的大规模生产的,但是气相法因为要付出高昂成本代价,也极易形成很多污染物,需要进一步改良工艺后才能在工业生产中应用。应用沉淀法制备球形硅微粉虽然价格低廉,但是容易出现硬团聚问题,因此需要进一步改良这些方法,才能促进我国球形硅微粉的工业化生产,并为电子封装产业的进一步发展奠定良好基础。
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关 键 词: | 球形硅微粉 制备方法 应用 |
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