长寿命冷电弧阴极及其在离子镀中的应用

本文简述一种以空腔杯状冷电弧阴极低气压放电原理为基础的长寿命等离子体蒸发离化源的设计与实验，给出了将这种阴极用于离子镀氮化钛（ＴｉＮ）膜取得的实验结果，从而给出了一种新的离子镀技术。