| 驱动方式对微流体陀螺仪输出信号的影响 |
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| 引用本文： | 赵燕,苏岩. 驱动方式对微流体陀螺仪输出信号的影响[J]. 光学精密工程, 2008, 16(5): 889-893 |
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| 作者姓名： | 赵燕 苏岩 |
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| 作者单位： | 南京工业职业技术学院,电气与自动化系,江苏,南京,210046;南京理工大学,机械工程学院,江苏,南京,210094 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 目的：针对微型热对流陀螺仪敏感输出信号非常微弱、不易测量的特点，本文给出了不同驱动方式下输出信号的检测及其对输出信号产生的影响。方法：首先，分析了微流体陀螺仪传感器的工作原理，接着，给出了直流电压驱动和交流电压驱动时的信号检测方案。直流电压驱动时，敏感到直流流速，经过差动电桥放大后，可得到输出电压。交流电压驱动时，可敏感到交流流速，用相干检测方法提取出有用信号，通过低通滤波器、放大器，最终得到直流电压，该电压信号正比于外界输入角速度。结果：实验数据分析可得：直流电压驱动时输出信号线性度为1.62％，零位电压不断升高，交流电压驱动时输出信号的线性度达0.113％，零位电压较稳定。结论：在零位电压稳定性、线性度两方面交流电压驱动方式性能更优。
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| 关 键 词： | 微流体陀螺 驱动方式 信号测量 |
| 文章编号： | 1004-924X(2008)05-0889-05 |
| 收稿时间： | 2007-10-08 |
| 修稿时间： | 2007-10-08 |
The Influence of Drive on Output Signals of Micro-fluidic Gyroscope |
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| ZHAO Yan,SU Yan. The Influence of Drive on Output Signals of Micro-fluidic Gyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(5): 889-893 |
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| Authors: | ZHAO Yan SU Yan |
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| Abstract: | 作者简介：苏岩(1967-),男,江苏苏州人,教授,工学博士,主要研究方向为MEMS惯性技术.E-mail:suyan@mail.njust.edu.cn |
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| Keywords: | Micro-fluidic gyroscope Drive Measurement |
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