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| 新型结构的1．3μm Ge_xSi_（1－x）／Si MQW波导探测器的优化设计 | |
| 作者姓名： | 刘育梁 杨沁清 王启明 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室 |
| 摘 要： | 本文首次提出了一种新型的环形ＧｅｘＳｉ（１－ｘ）／Ｓｉ波导探测器结构．器件的主体由３μｍ宽的环形波导构成．器件的输入端是８μｍ宽的波导．这两部分通过劈形波导过渡连接，各部分经过优化设计，可以同时实现高的耦合效率和高内量子效率．对于器件的材料结构、电学和光学特性进行了仔细的分析与设计．结果表明，优化设计的器件其外量子效率可达２８％，比已经报道的直波导探测器的外量子效率提高２～３倍．而上升下降时间仍然保持在１１０ｐｓ左右． |
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