| Si_（1－x）Ge_x／Si定向耦合器的研制 |
| |
| 引用本文： | 高勇,李国正,刘恩科,赵策洲,刘西钉,张翔九,卢学坤,王迅.Si_（1－x）Ge_x／Si定向耦合器的研制[J].红外与毫米波学报,1996,15(1). |
| |
| 作者姓名： | 高勇 李国正 刘恩科 赵策洲 刘西钉 张翔九 卢学坤 王迅 |
| |
| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系，上海复旦大学应用表面物理国家重点实验室 |
| |
| 摘 要： | 在运用ＳｉＧｅ脊形波导单模条件和有效折射率法分析ＳｉＧｅ／Ｓｉ定向耦合器结构参数的基础上，采用分子束外延和各向异性腐蚀技术制备出Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ（ｘ＝０．０５）单模定向耦合器．在波长为１．３μｍ时，平均串音小于－１８．１ｄＢ，输出功率耦合效率达到９８．１％
|
| 关 键 词： | Si1－xGex，光波导，定向耦合器 |
DEVELOPMENT OF SiGe/Si DIRECTIONAL COUPLER |
| |
| Gao Yong,Li Guozheng Liu Enke Zhao Cezhou Liu Xiding.DEVELOPMENT OF SiGe/Si DIRECTIONAL COUPLER[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,1996,15(1). |
| |
| Authors: | Gao Yong Li Guozheng Liu Enke Zhao Cezhou Liu Xiding |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Si 1- x Ge x optical waveguide directional coupler |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《红外与毫米波学报》下载全文 |
|
