| 多层膜结构和界面分析应用中的高分辨率透射电镜剖面分析 |
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| 引用本文： | 邵建达,范正修,王桂英,丁志华.多层膜结构和界面分析应用中的高分辨率透射电镜剖面分析[J].中国激光,1994,21(6):457-462. |
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| 作者姓名： | 邵建达 范正修 王桂英 丁志华 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光机所 |
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| 摘 要： | 介绍了利用高倍放大的超薄多层膜的剖面图，经ＦＣ数字化图像处理系统进行数字化处理后，给出详细的定量结构参数的详细过程。并给出了对利用平面磁控溅射淀积的１０个周期数的Ｍｏ／Ｓｉ周期多层膜的实际处理结果，获得了界面上的渗透层厚度和粗糙度值，并与小角Ｘ光衍射法测得的结果进行了比较。
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| 关 键 词： | 多层膜，透射电于显微镜，FC数字化图像处理 |
| 收稿时间： | 1993/8/19 |
Analyses of the structure and Interfaces of Multilayer UsingHigh-resolution Transmission Electron Microscopy |
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| Shao Jianda, Fan Zhengxiu,Wang Guiying,Ding Zhihua.Analyses of the structure and Interfaces of Multilayer UsingHigh-resolution Transmission Electron Microscopy[J].Chinese Journal of Lasers,1994,21(6):457-462. |
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| Authors: | Shao Jianda Fan Zhengxiu Wang Guiying Ding Zhihua |
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| Abstract: | The structure of a Mo/Si multilayer fabricated with planiar magnetron sputteringhas been inveStigated by using SAXD and HRTEM techniques. The FC- digital imageprocessing syStem, which can easily give us the digital results of the structure parameters ofmultilayer, has been induced in analyses of HRTEM. |
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| Keywords: | multilayer transmission electron microscope FC-digital image process |
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