| Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征 |
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| 引用本文： | 李艳红,周科朝,庄后荣,张妍,张斗.Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征[J].中国有色金属学报,2014(1). |
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| 作者姓名： | 李艳红 周科朝 庄后荣 张妍 张斗 |
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| 作者单位： | 中南大学粉末冶金国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51072235);湖南省自然科学基金杰出青年资助项目(11JJ1008);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20110162110044) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备钙钛矿结构的Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜。对其前驱体干凝胶进行热重与差热(TG-DSC)分析,以此确定薄膜的热处理工艺。分别采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和B1500A半导体器件分析仪对薄膜性能进行表征。结果表明:800℃下在氧气气氛中退火15 min可以得到结晶度良好、致密度较高的纯钙钛矿相BST薄膜,其对应的晶粒尺寸和均方根粗糙度分别为30~40 nm和5.80 nm。薄膜厚度为160~378 nm时,BST薄膜的介电常数和介质损耗随薄膜厚度的增加而增大。厚度为300 nm的BST薄膜的介电常数由于尺寸效应随温度升高单调降低,且居里温度在室温以下。
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| 关 键 词： | Ba. Sr. TiO(BST)薄膜 溶胶-凝胶法 介电性质 |
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